Die Scanning Acoustic Tomography (SAT) ist ein wertvolles Werkzeug in der Halbleiter industrie zur zerstörung freien Prüfung und Bewertung von Halbleiter materialien und-geräten. Diese Technologie verwendet Schallwellen, um hoch auflösende Bilder von internen Strukturen, Defekten und Materiale igen schaften zu erstellen und wichtige Informationen für die Qualitäts kontrolle, Prozess optimierung und Fehler analyze bereit zustellen.
Scannen der akustischen Tomographie (SAT)Arbeitet, indem Ultraschall impulse in das zu testende Material übertragen und die Zeit gemessen werden, die für die Rückkehr der Echos benötigt wird. Diese Daten werden dann verwendet, um ein drei dimensionales Bild der internen Struktur zu erstellen, sodass Analysten die Qualität des Materials visual isieren und bewerten können.
Vor der Durchführung von SAT ist es wichtig, die Halbleiter probe ordnungs gemäß vor zubereiten. Dazu gehört das Reinigen der Oberfläche, um alle Verunreinigungen zu entfernen, die die Schallwellen stören könnten, und um sicher zustellen, dass die Probe zum Scannen richtig positioniert ist.
Während des Scans wird die Probe auf eine Bühne gestellt, die sich in mehrere Richtungen bewegen kann, sodass der Ultraschall wandler die gesamte Oberfläche scannen kann. Der Wandler emittiert Ultraschall wellen, die das Material durchdringen und von inneren Strukturen und Defekten zurück reflektiert werden. Die reflektierten Wellen werden dann vom Wandler erfasst und verwendet, um ein Bild der inneren Struktur zu erzeugen.
Sobald der Scan abgeschlossen ist, werden die Daten mithilfe einer speziellen Software verarbeitet, um ein detailliertes Bild der internen Struktur zu rekonstruieren. Dieses Bild kann Defekte wie Hohlräume, Risse und Delaminations fehler aufdecken und Informationen über Materiale igen schaften wie Dichte und Elastizität liefern.
Der letzte Schritt bei der Verwendung von SAT in der Halbleiter industrie besteht darin, die erzeugten Bilder zu analysieren und zu interpretieren. Dies kann die Identifizierung und Quant ifizierung von Fehlern, die Bewertung der Materiale igen schaften und die Korrelation der Ergebnisse mit anderen Testergebnis sen umfassen, um ein umfassendes Verständnis der Qualität und der Eigenschaften der Probe zu erhalten.
Abschließend ist die Scanning Acoustic Tomography ein leistungs fähiges Werkzeug für zerstörung freie Tests in der Halbleiter industrie und bietet wertvolle Einblicke in die interne Struktur und Eigenschaften von Halbleiter materialien und-geräten. Durch die Einhaltung geeigneter Verfahren für die Proben vorbereitung, das Scannen und die Bildanalyse kann SAT Halbleiter herstellern helfen, die Produkt qualität zu verbessern, Herstellungs prozesse zu optimieren und das Risiko von Defekten und Ausfällen zu verringern.
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