Anwendung von Präzisions quarz komponenten in Halbleitern

In der Halbleiter industrie ist Quarz weit verbreitet. Und hochreine Quarz produkte sind wichtige Verbrauchs materialien in der Wafer produktion. Die Haupt anwendung von Quarz komponenten im Halbleiter bereich ist der Diffusions-und Ätz prozess in der Wafer gießerei, der in Hoch temperatur zonen vorrichtungen und Niedertemperatur-Zonen vorrichtungen unterteilt werden kann. Die wichtigsten Geräte, die verwendet werden, sind wie folgt:

Xx Geräte in der Hoch temperatur zone sind haupt sächlich Ofen rohre, Glas boote usw., die bei der Diffusions oxidation und anderen Prozessen verwendet werden. Sie müssen einen direkten oder indirekten Kontakt mit Silizium wafern in einer Hoch temperatur umgebung haben. Nach dem Kauf von Quarzglas materialien werden diese Geräte durch thermische Verarbeitung hergestellt.

Bei der Kontrolle der inneren Rests pannung des Quarzglas rohrs in der folgenden Abbildung wird empfohlen, eine manuelle quantitativeGlas polaris kop(Modell KEINE PSV-413). Sie können intuitiv und deutlich sehen, wo sich die Spannung konzentriert, und den optischen Verzögerung swert messen, der durch das Vorhanden sein von Stress verursacht wird. In Abbildung 1 konzentriert sich die Spannung auf die blaue Position. Wenn wir zur quantitativen Messmethode (Senarmont-Methode) wechseln, dreht der blaue Bereich in Abbildung 1 den weißen Bereich in Abbildung 2. Wenn wir die Skala langsam auf dem oberen Analysator drehen, wird die Farbe des weißen Bereichs in Abbildung 2 allmählich dunkler, bis er sich in Abbildung 3 in den dunkelbraunen Bereich verwandelt.

Abbildung 1

Abbildung 2

Abbildung 3

Die Geräte in der Nieder temperatur zone sind haupt sächlich Quarz ringe im Ätz prozess und Blumen körbe und Reinigungs tanks während des Reinigungs prozesses. Nach dem Kauf von gas raffiniertem Quarzglas werden diese Geräte durch Kalt verarbeitung hergestellt. Der Quarz reinigungs tank im Bild unten wird durch Handfeuer hergestellt. Bei der Kontrolle der inneren Rests pannung wird empfohlen, ein vergrößertes Hand polar is cope (Modell NO PSV-202-DL) zu verwenden.